产品概述

ZYGO ZMI‑2002，物料号8020‑0211‑1‑J，属于ZMI‑2000系列6U VME总线双轴激光干涉测量板。该板卡接收激光干涉探头送来的光学信号，实时解算纳米级分辨率的位移、速度、加速度数据；通过VME背板或者高速P2接口，将测量结果上传给上位运动控制系统，实现闭环定位控制；采用标准6U VME板卡规格，直接装配于VME机箱插槽，由VME机架供电。技术人员参照官方技术手册完成硬件装配、参数配置与软件调试，为半导体光刻设备、精密运动平台、高端计量工况提供稳定可靠的位置反馈能力。

核心特性

• ZYGO ZMI‑2002双轴激光干涉测量板，料号8020‑0211‑1‑J，单块6U VME板集成两路独立干涉测量通道。
• 纳米级测量分辨率，处理外差激光信号，为高精度运动控制回路输出精准位置数据。
• 双重通讯方式：VME总线访问+高速P2接口，支持多板级联扩展测量轴数，无需额外机箱空间。
• 遵循6U VME机械标准，可直接插入主流VME机箱，便于现场板卡更换作业。
• 工业级电路布局，优化信号抗干扰能力，适配精密设备机柜内部长期不间断运行。
• 前面板LED状态指示灯，反馈电源、信号锁定以及通道故障状态，方便现场快速巡检定位故障。
• 适用于半导体设备大修、激光干涉测量板更换、精密自动化设备改造场景。

技术参数

• 型号：ZMI‑2002，物料号：8020‑0211‑1‑J
• 品牌：ZYGO
• 产品类型：双轴激光干涉6U VME测量板
• 机械标准：6U VMEbus板卡
• 测量通道：2路独立干涉测量轴
• 主机接口：VME背板总线、高速P2接口
• 安装方式：6U VME机箱插槽插卡安装
• 诊断功能：前面板LED，电源、信号、通道状态指示
• 分辨率：纳米级位置分辨率
• 工作温度：15‑30℃（洁净室受控环境）
• 防护等级：IP20（机箱内部安装）
• 主要功能：精密运动控制系统实时位移、速度、加速度测量

应用领域

ZYGO ZMI‑2002 8020‑0211‑1‑J测量板大量应用于半导体光刻设备、晶圆检测设备以及超精密运动平台自动化现场，为高精度计量设备维护改造项目提供可靠双轴干涉仪板卡备件方案。