产品概述

KOKUSAI CXP‑544A KOMS‑A2是专为KOKUSAI立式扩散炉半导体制造设备开发的专用工艺控制板，属于CXP系列控制器硬件，在晶圆产线中承担模拟量输出、工艺闭环调节核心任务。

该板卡输出多路隔离模拟信号，驱动MFC质量流量控制器、晶闸管功率调节器与气动控制阀，精准稳定氧化、退火、CVD热工艺的气体流量与炉温。板卡通过KOKUSAI专用CXP背板总线与主CPU完成实时工艺参数交互。

板载多组LED状态指示灯，用于硬件诊断和运行状态反馈；通道间隔离电路设计，抑制高温炉柜内部各类电磁干扰。是半导体工厂老旧KOKUSAI立式炉生产设备重要的控制板备件。

核心特性

• KOKUSAI立式扩散炉专用控制硬件，完美适配CXP系列炉体控制器机架
• 多路隔离模拟输出，支持±10VDC、4‑20mA信号切换，可驱动MFC与加热功率单元
• 通道‑通道电气隔离设计，有效抵抗炉体机柜内部高频电磁干扰
• 专用CXP背板总线接口，与主CPU模块实现高速确定性数据交互
• 内置硬件监测自诊断功能，检测输出通道异常并输出故障状态反馈
• 板载LED指示灯组，直观展示供电、通讯链路、通道故障信息，方便现场快速排查
• 标准机架插卡式结构，设备维护更换板卡操作便捷
• 工业级PCB制作工艺，适应半导体车间机柜宽温波动、高噪声工况

技术参数

• 型号：CXP‑544A KOMS‑A2
• 品牌：KOKUSAI（现归属SCREEN Holdings）
• 产品类型：立式扩散炉工艺控制板
• 适用设备：KOKUSAI CXP系列立式扩散炉
• 输出信号：可配置 ±10VDC / 4‑20mA，通道隔离
• 背板总线：KOKUSAI专有CXP总线
• 供电电源：24VDC
• 安装方式：机架插卡式安装
• 工作温度：‑10℃ ~ +60℃
• 湿度：5%‑90%RH，无凝露
• 防护等级：IP20（机柜内部使用）

应用领域

KOKUSAI CXP‑544A KOMS‑A2控制板大量应用于半导体晶圆制造工厂。承担立式扩散、氧化、退火、CVD工艺炉的气体流量控制、炉温闭环调节任务，保障热工艺参数稳定，维持晶圆加工品质一致性。