产品概述

SCHUMACHER ATCS‑15 1464‑0320 是一款高精度绝对温度控制器。

专为半导体晶圆热处理工艺设备配套使用。

设备为晶圆制造工序提供稳定精准的温度调节能力。

支持 PID 闭环温度控制逻辑，接收工艺温度传感器实时反馈信号。

自动调节加热器输出功率，维持工艺目标温度恒定。

前面板 LED 数码管可直接显示运行参数与报警代码。

预留多组工业通讯接口，对接工厂上位控制系统，实现远程参数读写。

机柜式紧凑安装结构，现场维护拆装便捷，支持备件快速替换。

核心特性

‑ 采用高精度 PID 闭环控温算法，保障晶圆热处理工序温度输出稳定。

‑ 支持多路温度传感器信号输入，采集工艺腔室实时热工况数据。

‑ 前面板 LED 数码管显示温度数值与故障报警，无需额外工具查看设备状态。

‑ 配置模拟量、数字量 I/O 端子，对接外部设备互锁信号。

‑ 支持标准工业总线通讯，可在上位端完成远程监控与参数修改。

‑ 内置过温、过载多重保护报警机制，避免异常热损伤晶圆工艺设备。

‑ 机柜式安装结构，拆装简单，便于现场备件更换。

‑ 满足半导体洁净车间使用标准，可长期稳定运行于晶圆工厂工况。

技术参数

‑ 品牌：SCHUMACHER

‑ 型号：ATCS‑15

‑ 订货号：1464‑0320

‑ 产品类型：半导体晶圆温度控制器

‑ 控制方式：PID 闭环温度调节

‑ 显示方式：前面板 LED 数码显示

‑ 通讯接口：工业模拟、数字总线接口

‑ 安装方式：机柜安装

‑ 使用环境：10℃‑50℃，湿度 5%‑90% 无凝露

应用领域

广泛应用于半导体晶圆制造工厂，适配 SCHUMACHER 晶圆热处理工艺设备。 用于设备大修、硬件维护，也可作为损坏原装单元的备件替换使用。