产品概述

BALZERS IKR020 底座是 IKR020 冷阴极反磁控真空规专用安装底座。为规管探头提供机械固定与真空密封接口，用于高真空系统内部。底座实现规管与真空腔体之间可靠密封，采用标准 KF 法兰，方便对接各类真空设备腔体。

核心特性

‑ DN25 ISO‑KF (NW25) 标准真空法兰，对接真空腔体 ‑ 不锈钢本体搭配金属陶瓷密封，满足高真空工况 ‑ 专用于 IKR020 冷阴极离子规探头装配 ‑ 可承受最高 150℃烘烤，便于真空系统除气 ‑ 结构小巧，节省真空设备内部安装空间 ‑ 密封性能稳定，适配各类高真空工艺环境

技术参数

‑ 品牌：巴尔查斯 BALZERS（普发 Pfeiffer 旗下） ‑ 型号：IKR020 底座 ‑ 产品类型：真空规安装底座 ‑ 法兰规格：DN25 ISO‑KF (NW25) ‑ 主体材质：316L 不锈钢 ‑ 最高烘烤温度：150℃ ‑ 适用压力范围：1E‑10 ~1E‑2 mbar ‑ 安装方式：真空法兰对接安装

应用领域

广泛应用于镀膜设备、半导体、各类真空工艺设备，用于真空规装配、设备维护检修以及备件更换项目。