产品概述

TEL VME‑U10B 381‑641697‑5是东京电子 TEL 晶圆工艺设备专用 VME 总线机箱单元。该机箱为多块 VME 插拔板卡提供机械支撑、背板信号路由以及电源分配。 同时为机箱内部所有控制板卡提供可靠电源与信号链路，保障硬件稳定运行，满足半导体晶圆设备连续生产工况要求。

核心特性

‑ 原厂 VME‑U10B 机箱单元，完全匹配 TEL 晶圆设备硬件结构。 ‑ 集成 VME 背板，完成各个卡槽信号传输与电源分配。 ‑ 为机柜内部各类 VME 接口板提供牢固机械固定。 ‑ 工业级抗振动结构，适配工厂车间复杂工况。 ‑ 板卡拆装便捷，方便设备日常巡检与故障排查。 ‑ 设备维护、硬件升级的关键可现场替换备件。

技术参数

‑ 品牌：TEL（东京电子） 

‑ 型号：VME‑U10B 

‑ 物料号：381‑641697‑5 

‑ 产品类型：VME 总线机箱单元 

‑ 规格：VME 标准机箱 ‑ 适配设备：TEL 半导体晶圆处理设备

 ‑ 工作温度：0℃ ~ +60℃ ‑ 防护等级：IP20

应用领域

TEL VME‑U10B 381‑641697‑5用于半导体晶圆制造产线，为 TEL 工艺设备 VME 板卡模块提供机箱支撑、信号与电源分配；作为设备大修、机箱故障维修替换备件。