产品概述

TEL TVB‑1202‑1ANET 1381‑647980‑12是东京电子 TEL 半导体工艺设备专用栅极驱动通讯板卡。

该 VME 插槽式板卡完成栅极驱动信号输出，同时实现 ANET 高速实时网络通讯；在主控单元与现场工艺子单元之间交互过程数据，稳定输出驱动信号，满足晶圆制造严苛精度要求。

核心特性

‑ 单块板卡集成栅极驱动信号发生与 ANET 网络通讯双重功能。

 ‑ VME 总线插拔式结构，适配设备标准卡槽，拆装更换便捷。 

‑ 支持半导体工艺控制逻辑的高速实时数据交互。 

‑ 面板配置硬件状态 LED 指示灯，直观查看板卡运行与故障报警。

 ‑ 抗干扰电路布局，适应半导体产线复杂电磁噪声环境。 

‑ 可现场直接替换，减少工厂设备维护故障停机时长。

技术参数

‑ 品牌：TEL（东京电子）

‑ 型号：TVB‑1202‑1ANET 

‑ 物料号：1381‑647980‑12

‑ 产品类型：栅极驱动通讯板卡 

‑ 规格：VME 总线插拔板卡 

‑ 接口：ANET 网络接口 

‑ 适配设备：TEL 半导体制造设备 

‑ 工作温度：0℃ ~ +60℃ 

‑ 防护等级：IP20

应用领域

TEL TVB‑1202‑1ANET 1381‑647980‑12应用于半导体晶圆制造产线，为 TEL 工艺设备提供栅极驱动控制与网络数据传输；作为设备大修、现场板卡故障维修替换备件。